型號

MTS354

MTS355

MTS356

MTS357

行程（mm）

200

250

300

400

臺面尺寸（mm）

174×120

188×160

L(mm)

475

525

575

725

導軌

線性滑塊

螺桿導程(mm)

4

5

分辨率（mm）

0.00032

0.00039

極限速度（mm/s）

40

50

重復定位精度

＜0.005

軸向間隙

＜0.002

步進電機（1.8°）

42步進電機

56步進電機

極限靜轉矩(Ncm)

50

80

中心負載（kg）

30

50

自重（kg）

6.5

7.1

7.7

12.1

備注

應用真空環境中，需單獨訂貨